硬氮化，氮化是化学热处理的一种，也称渗氮，清溪真空热处理，指将工件置于含氮的炉气（含氨气）中，选定适当的温度、气体流量、氨气浓度比率等，企石真空热处理，保持一定的时间，真空热处理，使氮元素渗入工件表面，形成硬度甚高的表面氮化相，得到更高的耐磨耗、耐疲劳等特性。渗氮处理的温度通常在480～540℃范围（既要保持工件的心部的调质硬度又要使渗氮层的硬度达到要求值），处理的时间按照要求深度（通常在0.1～0.65mm之间）不同，一般为15～70小时，甚至更长。这种常规的氮化也被称为硬氮化，与之相对的是软氮化。
真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等。众所周知零件经真空热处理后，畸变小，质量高，且工艺本身操作灵活，无公害。
经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40~400%，而有许多工具的寿命可提高3~4倍左右。
渗碳工艺对变形的影响温度的均匀性、渗碳层的均匀性，冷却介质温度的均匀件都影响齿轮变形，同时渗碳温度越高，渗碳层越厚、油温低，齿轮变形大。所以要改进设备，优化工艺，提高齿轮热处理质量。
淬火对变形的影响淬火冷却行为是影响齿轮变形重要的因素，热油淬火比冷油淬火变形小，一般控制在100℃±120℃，油的冷却能力对变形也是至关重要的。搅拌方式均影响变形，寮步真空热处理，上淬火压床淬火的盘状齿轮，按各种齿轮的变形情况，调整冲火压床参数减小变形，调整内、外压模及胀心块的压力及各段喷油量的大小及上作台面来控制变形。
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