模具中不乏有精密复杂的模具，所以就需要设计人员有正确的方法。1、合理的选材。对形状复杂的模具要选用质量好的微变形模具钢，对碳化物偏析严重的模具钢进行锻造和调质热处理，对较大或者无法锻造的模具钢进行固溶细化热处理。2、模具的设计要合理，企石真空热处理，形状对称，对较大的模具掌握好变形的规律，预留加工余量，大型和精密复杂的模具可采用组合结构。3、此种模具要进行预先热处理。4、合理的选择加热温度和控制温度，可采取缓慢加热、预热和其他均衡加热的方法来减少模具热处理变形。5、条件允许的情况下，尽量采用真空淬火和淬火后的深冷处理。此外正确的热处理加工工艺操作和合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。
回火之所以具有这些作用，是因为温度升高时，原子活动能力增强，钢铁中的铁、碳和其他合金元素的原子可以较快地进行扩散，实现原子的重新排列组合，从而使不稳定的不平衡组织逐步转变为稳定的平衡组织。内应力的消除还与温度升高时金属强度降低有关。一般钢铁回火时，硬度和强度下降，塑性提高。回火温度越高，这些力学性能的变化越大。有些合金元素含量较高的合金钢，真空热处理，在某一温度范围回火时，会析出一些颗粒细小的金属化合物，使强度和硬度上升。这种现象称为二次硬化。
高温正火(Ac3以上150～200℃)由于高温下扩散速度较高，寮步真空热处理，可以减少铸件和锻件的成分偏析。高温正火后的粗大晶粒可通过随后第二次较低温度的正火予以细化。
对某些用于汽轮机和锅炉的低、中碳合金钢，常采用正火以获得贝氏体组织，再经高温回火，增城真空热处理，用于400～550℃时具有良好的抗蠕变能力。
除钢件和钢材以外，正火还广泛用于球墨铸铁热处理，使其获得珠光体基体，提高球墨铸铁的强度。
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