因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，竹溪县角铁法兰，故必须经过水洗中和处理，再由风机排入大气。
排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。
组装时应尽量调整风道的中心度和水平度，避免风管扭曲或上下起波，左右摆龙，加工角铁法兰，每段风道不宜超过10m.组装时，垫片应垫平，法兰螺栓应均匀拧紧，螺母帽均朝向同一方向。
风管就位：风管就位前应检查全部支架的水乎度和标高、检查支架的牢固程度，风管就位可采用直接和吊具两种方法。对风管断面较小，又位置较低的可采用人工就位方法，只需搭设简易脚手架即可。当风管断面较大且管段较长时，可采用滑轮、倒链、大绳等方法吊装。
1、真空吸污
用类似有手握式的真空吸污管来操作。用刷子直接接触管道内壁以清除污物。这种方法需要风管有较大的检修孔使操作的人员能够尽可能够得到但这种方法可能漏掉一局部尘土和污物，因为风管不能形成完全的负压条件。
2、动力洗刷
用气动或者电动的毛刷将脏污刷动，然后污物用和气体冲洗相同的方法和方向被吸到真空收集器中。这种方法要求尽可能的小心不至于破坏保温资料的外表。
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