真空泵正确组合
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，旋片式真空泵，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，旋片式真空泵哪家好，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，旋片式真空泵厂家，以满足不同场合的需要。
真空泵漏气主要原因
水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多，旋片式真空泵报价，有可能是输进液环的温度本来就高，也有可能是供给水或供给液水母不足，以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高，还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升，以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。
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