于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa。m3/s），然后对氦罩冲氦。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。
在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管，橡皮管的前端有直径很小的毛细管，充氦回收系统，使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动，如果该容器有漏隙，经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入，检漏仪就会响应。氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准。在真空设备漏情况的检查之中也有的仪器保证了检查效果的稳定性，而且这种氦质谱检漏仪系统中的的线路检测能力得到了更好的提升，。
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