VPSA制氧装置采用正压吸附，真空解吸的低压比VPSA工艺流程。主要设备包括：空气压缩系统、吸附解吸系统、仪表控制系统、电气控制系统、仪表空气系统、氧气压缩系统等。
VPSA制氧设备工艺流程简述:
原料空气经过滤器去除机械杂质后，经空气压缩系统加压处理后进入吸附器。
空气进入吸附器后，经过预吸附剂床层后，空气中水分、二氧化碳等杂质被预处理吸附剂吸附。清洁的空气进入制氧分子筛床层时，空气中氮气被吸附。大量未被吸附的氧气和少量惰性气体随气流从吸附器的出口端流出，即产品气。当制氧分子筛氮气吸附量达到饱和。此时，停止向吸附器输送空气。吸附器均压后，气流从吸附器下部流出。随着床层压力降低，制氧分子筛吸附的氮气被解吸，解吸气由真空泵抽出，并排入大气。当吸附器达到一定的真空度，分子筛恢复吸附能力。
产品气先进入氧气缓冲罐，进入氧压机加压。氧气缓冲罐起平衡产品气压力的作用。
根据设定的控制时序，整套制氧系统一键启停自动运行，无人值守，可实现自动开停机和远程监控，各控制和运行参数均在工控机上显示。
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