风淋室是半导体工艺行业生产设备重要一份子
半导体工艺主要设备很多,其中净化设备占很多的一部分。
净化设备 主要产品:水处理设备、灌装设备、空气净化设备、净化工程、反渗透、超滤、电渗析设备、EDI装置、离子交换设备、机械过滤器、精密过滤器、UV紫外线杀菌器、臭氧发生器、装配式洁净室、风淋室、传递窗、工作台、高校送风口、空气自净室、亚高、高效过滤器等及各种配件。
风淋室:是本公司运用国外先进技术和进口电器控制系统,组装成的一种使用新型的自动风淋室。它广泛用于微电子医院\制药\生化制品\食品卫生\精细化工\精密机械和航空航天等生产和科研单位,用于吹除进入洁净室的人体和携带物品的表面附着的尘埃,同时风淋室也起气的作用,防止未净化的空气进入洁净区域,是进行人体净化和防止室外空气污染洁净的有效设备。
风淋室工作流程主要有哪些?
大部分风淋室管理员或者使用者都了解风淋室的大致使用流程,无非就是先进风淋室后吹淋完毕再进洁净室,虽然是如此简单,但是如果要表现在书面上并详细地写出整个流程的细节操作并不是件简单的事,现在就将风淋室的主要工作流程整理如下几点:
1、进门(由风淋室外再往风淋室内走)-从非洁净室进入洁净室:
打开外门----内门上电锁------进入风淋室-------关上外门(语音提示站在感应区内)内外门自锁------ 红外感应吹淋开始(语音提示吹淋过程)---------吹淋完毕(语音提示)-----进入洁净室(内门自动解锁)
2、打开外门,内门上电子互锁,风淋室照明灯点亮,工作指示灯亮,人走进风淋室,关上外门,语音提示:“你好,请站在感应区内”。经外线智能系统开始检测是否有人在风淋室,如检测到有人,系统即转入风淋过程中。
3、风淋室内外门互锁,风机起动开始风淋,风淋延时开始倒数I5S(设置值)。语音提示:“正在工作,请转动身体360度”,风淋结束后,启动延时,延时结束后,风淋室内门自动解锁,语音提示:“吹淋完毕,请从后门退出”,人出内门后进入洁净室,内门关闭,系统返回初始状态,等待下一次使用。(注:如延时结束后想返回非洁净室,请按“急停”键,内外门解锁,可返回非洁净室。)
4、如系统在10秒内检测风淋室无人时,系统返回待机状态(红外线自动检测系统)。在待机状态下,如系统检测到人体时,风淋室开始风淋,但超过待机状态10秒后,系统返回初始状态。
5、如有人在风淋室,但不在系统感应区内,系统无反应,系统一检测到有人时,系统即转入风淋过程。
6、 如系统正在工作,有人接触按键开关时,语音提示:“正在工作,请不要随便触摸开关”。
7、在风淋室完成整个吹淋过程后,风淋室内外门自动解锁后,此时可以进入或者退出风淋室;如风淋室区域有人在5秒内没有离开风淋室,系统自动返回初始状态。
8、出门(由内 外走)-从洁净室到非洁净室:
打开内门--------外门上电自锁-------进入风淋室---------关上内门--------内外门解锁---- 进入非洁净室---------- 返回洁净室
9、打开内门,外门上电子互锁,风淋室照明灯亮,工作指示灯亮,人走进风淋室,关上内门,内外门解锁,系统开始检测是否有人在风淋室。
10、如检测到有人:可以选择内门出去:打开内门,外门上电自锁,再关上内门,系统返回初始状态或者选择外门出去,打开外门,内门上电自锁,再关上外门。系统返回初始状态。
11、 如检测不到有人:此时有人打开外门,系统即转入进门过程。
12、在出门过程中,如系统检测到有已经进入风淋室,在外门解锁后,里面的人在5秒内没有离开风淋室,系统自动返回初始状态。