接通电源7，组合电极3在旋转电机的作用下相对于工件5高速旋转，组合电极3中的金属基金刚石子电极3-1与工件5借助电解液产生电化学腐蚀，并由金属基金刚石子电极3-1上的金刚石刮除钝化膜，进行电解磨削；同时，组合电极3中的非导电抛光子电极3-3借助抛光油对工件5进行机械抛光；工作液槽4内的电解液和抛光油经过油水分离器6分离后进入油箱8和电解液箱9内回用，电解液箱9与金属基金刚石子电极3-1之间可通过电解液循环泵输送电解液，油箱8与非导电抛光子电极3-3之间可通过抛光油循环泵输送抛光油；
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组合电极3对工件5进行重复交替电解磨削和机械抛光，直至完成对工件5的加工，通过组合电极3即可对工件5进行电解磨削和机械抛光，加工同步性好，加工效率高，设备体积小，操作方便；。
本发明的一种组合电极电解机械磨抛复合加工装置及方法，其利用组合电极进行电解磨抛复合加工，组合电极中具有导电基金刚石电极和非导电抛光电极，利用导电基金刚石电极喷电解液来电解磨削去除大部分加工余量，利用非导电抛光电极喷油来实现机械抛光，在一次加工中电解磨削和机械抛光同时进行，相辅相成，零件表面加工质量，具有高效、实用、易操作、加工成本低、表面质量好，无宏观机械力等特点。