UHT|LTCC打孔机|HTCC打孔机|机械打孔机|机械冲孔机|MP-8200Z SL|生瓷片冲孔机|
日本UHT静电卡盘机械打孔机FP-1018主要应用:LTCC低温共烧陶瓷,HTCC高温共烧陶瓷,LTCC基板,HTCC基板,HTCC陶瓷管壳,压电陶瓷,MLCV多层片式电感等
日本高速,打孔UHT LTCC HTCC机械冲孔机FP-1018在维护良好前提下,精度稳定,可连续工作8小时以上,不需停机校准;
日本UHTLTCC HTCC机械冲孔机FP-1018设备刚性良好,耐磨抗震;
静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck),其原理是利用静电吸附原理将待加工晶圆吸附在其表面,使晶圆保持较好的平坦度,可以抑制晶圆在工艺中的变形,并且可以通过背吹气体来控制晶圆表面温度。
相较于机械卡盘,静电吸盘减少了机械运动部件,降低了颗粒污染,增大晶片的有效面积。与真空吸盘相比,静电吸盘可用于低压强(真空)环境,适用于需要利用卡盘控制晶片温度的场合。
凭借这些特性,静电卡盘被广泛用于PVD、刻蚀机、离子注入机等设备,其在半导体制造工艺的多个环节扮演着重要作用。
现代半导体工艺中包含晶圆的清洗、氧化、光刻、刻蚀、沉积等环节,每个环节中又涉及到多种工序,这其中离子掺杂、离子注入、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)等工序均需要保证晶圆的平稳固定,都需要静电卡盘来进行夹持。
在半导体制造工艺中,晶圆的平整度与洁净度对整个半导体制造的精度与良率至关重要,相较于传统的机械卡盘与真空卡盘,静电卡盘因吸附力均匀、污染小、可作用于真空环境等。