供应日本UHT 静电卡盘HTCC机械打孔机FP-1018

2024-11-05 21:05 112.3.200.124 1次
发布企业
苏州倍尔齐科技有限公司商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
2
主体名称:
苏州倍尔齐科技有限公司
组织机构代码:
91320583MAC348G310
报价
人民币¥1890.00元每台
品牌
UHT
产地
日本
型号
FP-1018
关键词
HTCC冲孔机,打孔机,UHT打孔机,静电卡盘,FP-1018
所在地
江苏省苏州市昆山市玉山镇萧林路699号大德玲珑商苑7号楼1207室(注册地址)
联系电话
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产品详细介绍

UHT|LTCC打孔机|HTCC打孔机|机械打孔机|机械冲孔机|MP-8200Z SL|生瓷片冲孔机|

 

日本UHT静电卡盘机械打孔机FP-1018主要应用:LTCC低温共烧陶瓷,HTCC高温共烧陶瓷,LTCC基板,HTCC基板,HTCC陶瓷管壳,压电陶瓷,MLCV多层片式电感等

日本高速,打孔UHT LTCC HTCC机械冲孔机FP-1018在维护良好前提下,精度稳定,可连续工作8小时以上,不需停机校准;

日本UHTLTCC HTCC机械冲孔机FP-1018设备刚性良好,耐磨抗震;

静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck),其原理是利用静电吸附原理将待加工晶圆吸附在其表面,使晶圆保持较好的平坦度,可以抑制晶圆在工艺中的变形,并且可以通过背吹气体来控制晶圆表面温度。

相较于机械卡盘,静电吸盘减少了机械运动部件,降低了颗粒污染,增大晶片的有效面积。与真空吸盘相比,静电吸盘可用于低压强(真空)环境,适用于需要利用卡盘控制晶片温度的场合。

凭借这些特性,静电卡盘被广泛用于PVD、刻蚀机、离子注入机等设备,其在半导体制造工艺的多个环节扮演着重要作用。

现代半导体工艺中包含晶圆的清洗、氧化、光刻、刻蚀、沉积等环节,每个环节中又涉及到多种工序,这其中离子掺杂、离子注入、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)等工序均需要保证晶圆的平稳固定,都需要静电卡盘来进行夹持。

在半导体制造工艺中,晶圆的平整度与洁净度对整个半导体制造的精度与良率至关重要,相较于传统的机械卡盘与真空卡盘,静电卡盘因吸附力均匀、污染小、可作用于真空环境等。


所属分类:中国机械设备网 / 电子电器生产线
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法定代表人陈长荣
注册资本100
主营产品真空炉结炉,纳米压痕仪,流延机,印刷机,温水等静压机,打孔机,叠层机,切割机,三辊研磨机,脱泡机,台阶仪,热切机,LTCC设备,SOFC设备
经营范围一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;电力电子元器件销售;电子专用设备销售;仪器仪表销售;通讯设备销售;机械零件、零部件销售;机械设备租赁;专用设备修理;风动和电动工具销售;五金产品批发;金属制品研发;金属制品销售;电子元器件与机电组件设备销售;电子产品销售;化工产品销售(不含许可类化工产品);橡胶制品销售;包装材料及制品销售;办公用品销售;劳动保护用品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;网络与信息安全软件开发;信息系统集成服务;国内贸易代理;技术进出口;货物进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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