随着半导体工艺的不断发展,对半导体表面平整度和光泽度的要求越来越高,传统的机械抛光技术已经不能满足需求。抛光机作为一种新兴的表面处理技术,具有、、无污染等优点,在半导体行业中的应用前景广阔。抛光机不仅可以用于晶圆的表面抛光和去除氧化物,还可以用于半导体器件的表面平整化和去除残留物等方面,具有重要的应用价值。
抛光机怎么做才能节能?
抛光机的能耗都很大、因为它都是靠电能来达到抛光的目的、有没有让它的能耗降低呢?其实还是有的、大概有两点做到位、也是可以降低能耗的,一个是持具,设计尽量符合产品与设备几可的数量即可,不要空很多持钩在上面,因为持钩课露出来的钢丝也会耗电、尽量让括钩露出的部分越少、又能挂紧产品为准,另外就是抛光液的水温、抛光液的温度对于电流影响很大、水温越接近沸腾、电流越小;水温度、电流就会升高一部分。八溢自动化设备有限公司生产的抛光机都是围绕着这个原则来设计挂具的。
抛光机在抛光时会生产很大的水蒸气、水蒸气温度一般比水的沸腾点好要高、超过100、但由于工作时有抽风机在加速水蒸气排出、实际排出的气体里面有混合一定的冷风在里面、一般情况下有80C左右。这样就得需要排气管需要一定的耐温和耐腐她要求,所以只洗择楚料管道或者不锈钢管道,不锈钢管道成本较贵、塑料管道有很多,能温的大到80C长期工作不变形的、且成本低廉的也只有PP管道、八溢自动化设备有限公司生产的抛光机、就是采用PP管道作为排气管道的、若是采用PVC管道、时间一长就会软化变形现象。