模具中不乏有精密复杂的模具，所以就需要设计人员有正确的方法。1、合理的选材。对形状复杂的模具要选用质量好的微变形模具钢，对碳化物偏析严重的模具钢进行锻造和调质热处理，对较大或者无法锻造的模具钢进行固溶细化热处理。2、模具的设计要合理，形状对称，常平真空热处理，对较大的模具掌握好变形的规律，预留加工余量，大型和精密复杂的模具可采用组合结构。3、此种模具要进行预先热处理。4、合理的选择加热温度和控制温度，可采取缓慢加热、预热和其他均衡加热的方法来减少模具热处理变形。5、条件允许的情况下，尽量采用真空淬火和淬火后的深冷处理。此外正确的热处理加工工艺操作和合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。
中碳结构钢制作的零件通常在500～600℃进行高温回火，以获得适宜的强度与韧性的良好配合。钢在300℃左右回火时，常使其脆性增大，这种现象称为回火脆性。一般不应在这个温度区间回火。某些中碳合金结构钢在高温回火后，如果缓慢冷至室温，也易于变脆。这种现象称为第二类回火脆性。在钢中加入钼，或回火时在油或水中冷却，都可以防止第二类回火脆性。将第二类回火脆性的钢重新加热至原来的回火温度，横沥真空热处理，便可以消除这种脆性。
硬氮化，真空热处理，氮化是化学热处理的一种，大朗真空热处理，也称渗氮，指将工件置于含氮的炉气（含氨气）中，选定适当的温度、气体流量、氨气浓度比率等，保持一定的时间，使氮元素渗入工件表面，形成硬度甚高的表面氮化相，得到更高的耐磨耗、耐疲劳等特性。渗氮处理的温度通常在480～540℃范围（既要保持工件的心部的调质硬度又要使渗氮层的硬度达到要求值），处理的时间按照要求深度（通常在0.1～0.65mm之间）不同，一般为15～70小时，甚至更长。这种常规的氮化也被称为硬氮化，与之相对的是软氮化。
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