PI系列高精模具镀膜设备以等离子体过滤技术为核心突破,通过水冷散热系统与高效电磁过滤装置的结合,确保镀膜过程中离子纯度与均匀性。设备采用的弧源设计大幅提升工作稳定性,维护时间缩短至20分钟,降低停机成本。
在工艺性能上,设备制备的类金刚石薄膜(DLC)兼具高硬度(2000-5000HV)与优异结合力(>5N),可承受600℃高温环境(氮气保护下),适用于高精度模具的长周期服役需求。例如,在光学镜头模具表面镀覆50-150nm的Particle-freeTa-C涂层后,其抗磨损性能提升3倍以上,且不影响模具原有光学精度。
设备兼容磁控溅射源(PIS111-2型号),扩展涂层材料选择范围,满足多元化工艺需求。真空室极限真空度达<5.0×10³Pa(部分型号),为超洁净镀膜环境提供保障。目前,该系列设备已被多家高校及科研机构用于新材料研发,在精密仪器制造领域实现规模化应用。
注明:以上数据来源于安徽纯源镀膜科技有限公司--材料实验室检测数据