气冷型高低温卡盘系统-电子精密控温chiller

气冷型高低温卡盘系统是无锡冠亚恒温推出的一款精密温控设备，主要应用于半导体、电子等行业的晶圆及器件测试场景，通过空气制冷与电加热结合的方式，实现对被测工件的准确温度控制与真空吸附定位。

气冷型高低温卡盘系统功能与技术特点

该系统作为探针台配套部件，具备以下特点：

· 采用空气制冷技术，无需液体冷媒或帕尔贴元件，运行安静且维护便捷，规避泄漏风险

· 温度控制范围覆盖-65℃~+200℃（可定制），满足各类变温测试需求

· 内置多区温度传感器，支持高精度FID调节控温，确保温度均匀性与稳定性

· 提供8寸、12寸标准卡盘及非标定制，适配不同尺寸晶圆与测试需求

· 兼容真空吸附功能，保障测试过程中工件定位准确，提升数据一致性

气冷型高低温卡盘系统chiller应用场景与价值

广泛应用于半导体晶圆变温电学测试、功率器件建模、可靠性评估、射频变温测试等领域，尤其适合低噪音、高绝缘性要求的测试环境。无锡冠亚恒温凭借多年温控技术积累，该系统可与探针台、ATE自动测试设备无缝集成，为用户提供稳定可靠的温控解决方案，助力提升测试效率与数据准确性。