冷却水的水质要好，防止结垢，臭氧发生器，以免影响发生器的散热效果。
二对水冷发生器采说，为使传热表面的结垢Zui少，冷却水的水质十分重要。结垢会使传热效率降低，臭氧发生器消毒，从而减少臭氧产量，臭氧杀菌发生器，增加维护费用。在技术上自来水是被优先选择的冷却剂，对大型工业用发生器所需要的耗水量来说，使用自来水经济上毫无吸引力，也许只有发生系统用在水处理厂的情况除外。与自来水水质一般处理后的污水作为冷却水，效果不是很好，因为它容易导致结垢。如果高质量的水或其他流体用在密封的十次冷却回路中，末级热交换器又是专门设计得Zui少结垢；且便于清洗，污水出水还可以作为末级散热使用。为了水费和设备维护费之间的很好的平衡，系统设计时多数采用冷却塔水或热交换器优质饮用水（无悬浮固体、氯化物<5mg/L）。
臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远高于开放式。
臭氧发生器系统设计时，必须能防止大量水进入到发生器内。水封供气压缩机用的浮阀或空气干燥器上的凝结水阀阻塞卡住，都会造成发生器电晕室内水。电晕室内大量进水可导致电晕集中、高电流密度和局部电介体发热，造成介电体过早失效。检测装置在水进入电晕室之前切断电晕电源，水中所含杂质也会沉积在元件表面上，臭氧发生器保养，这些杂质必须在继续运行之前予以清除。运行故障或操作错误都能迫使处理出水从臭氧接触池到流至发生器内，至少会造成电晕元件污染或者介电体损坏。系统设计和操作规程必须阻止的腐蚀性气体及从臭氧接触池回流的水蒸气进入发生器内。
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