一款适用于8英寸及以下晶圆测试的标准探针台,台面加宽设计,便于摆放更多探针座,实现复杂灵活的测试应用。 科研、生产、旗舰型探针台T-200型 样品台材质:铝合金、PTFE、陶瓷、镀金(可选) 样品台尺寸:6、8、12英寸 ,全吸附孔设计。 光学倍率:20X~50X/100X/500X/1000X(选配) 台面具有一杆升降、带探针预接触功能、探针悬浮功能 台面升降功能:0~0.25mm/40mm/50mm(可调) 显微镜单元具备气动升高功能,可升高60mm。 Chuck具有一杆升降、微调升降功能 Chuck具有可360度旋转,可±5度精细微调 Chuck具有快速位移功能 (X轴、Y轴) 标配3个样品台,分别应用于晶圆、晶粒(单颗芯片)、MEMS模组(或校准片) 针座平台C型设计,可放置4~8个探针座 整体:670mm长*755mm宽*572mm高 重量:约100千克
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