微电子机械系统（MEMS）Parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，真空镀膜工艺，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。Parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，佛山真空镀膜，它能耐酸、碱和，对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。
微电子集成电路Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
金手指镀膜在金手指表面形成一层纳米镀膜，主要有如下作用：
·降低镀金层厚度甚至用镀银取代镀金，大大降低生产成本·金手指表面不再担心污染问题，所有脏污可以方便地清洗去除。
·镀膜金手指可以耐300℃以下高温不会出现氧化变色问题，从而可以实现SMT工艺时免贴胶带过炉。
镀膜SOCKET在Socket表面形成一层纳米镀膜，真空镀膜厂商，可有效改善同BGA等半导体器件的接触性能， 降低磨损，延长接触寿命。
将纳米液渗透在无尘纸上，用于含有银金属材料产品之包装、运输及储存，是一种既经济，又环保的长期防止硫化的理想包装材料。
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