PSA法能够生产纯度80%~95%的氧气，工业制氧机，制氧电耗一般在0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3，吸附压力高于大气压，一般在30kPa～100kPa，流程简单，常温下工作，自动化水平高，可实现无人化管理，特别是安全性好。在真空解吸流程中，装置操作压力低，制氧机，容器等不受压力容器规范控制。变压吸附工艺按吸附器的数量，分为单塔流程、两塔流程、三塔流程和五塔流程等。五塔流程的变压吸附法为常用，就是用5个吸附床、4台鼓风机和2台真空泵，整个周期中保持2个床在吸附和抽真空，解决了大规模产氧的技术问题。
VPSA与深冷空气制氧比较
现代工艺流程一直改进，VPSA制氧装置是进20多年中发展起来并被市场所接受的技术，制氧机价格，VPSA制氧技术开发的时间将更短。VPSA制氧设备流程比较简单，主要设备有鼓风机、吸附塔和一些阀门，而深冷制氧机流程复杂，变压吸附制氧机，主要设备包括空压机、过滤器、膨胀机、精馏塔、净化装置、一组换热器等许多装置。
制氧机
制氧机，生产氮气（或液氮）和、-氦、-氙等混合气体的一种成套设备。在一般情况下，空气分离设备多用来生产氧气。
变压吸附真空解吸制氧机(简称VPSA制氧机)，即穿透大气压的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气(90~94%)。VPSA能耗较低，设备越大其能耗越低。
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