全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机为半导体衬底片清洗而设计的超声波清洗设备。整个工艺流程使用PLC编程控制，可根据清洗工艺要求，灵活设置动作参数。采用全自动化运行过程，清洗效果好，溶剂保持洁净时间长，实现清洗流程的自动化作业，降低操作人员劳动强度，提高设备的生产能力和清洗效果。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机技术参数：

槽体数量可根据用户工艺要求配置。

清洗液**加热温度可达80度。

设有快速排放功能，排放次数可设置。

可清洗多种和尺寸的晶片（2寸、4寸等）.

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机槽内传输有手动、自动方式可选。

超声波频率可选配多种频率，也可选配兆声清洗功能。

带有循环过滤、氮气鼓泡、喷淋等功能

自动盖结构可降低溶解挥发及对人体的伤害

具有故障提示，报警等功能。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机各部分功能：

清洗槽：工件在清洗槽进行清洗，可将工件表面及缝隙中的油污、粉尘、指纹、汗渍等离子型污垢震落；

漂洗槽：工件放入清洗槽后纯水进行漂洗；

IPA槽：把残留在工件上的水经IPA脱除；

进排液管路装置：用于进水与排放洗剂；

过滤系统：从储液槽中泵抽取经过滤器过滤后，使清洁的溶液重新流回至清洗槽内；

电器控制面板：控制整机的电气部分，集中控制清洗机的各项功能，保证整机功能的实现。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机工艺流程和配置：

     由不锈钢材质制作的超音波溶剂、水剂清洗槽，市水漂洗槽、纯水漂洗槽、IPA清洗槽、IPA干燥槽等组成的一条连续工作的由清洗到干燥的装置。操作者将装有工件的清洗篮依次送往各清洗工位，对工件进行清洗、升降干燥，完成清洗、干燥的工作循环。

上下料装置：

上料方式：以人工将洗篮放置在上料位，装好工件，上料位有感应器控制定位。

下料方式：单臂机械手将洗篮放在下料位,下料位有感应器提醒人取篮。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机机械臂部分：

1、机械臂结构组成

单臂型机械臂由机架、机械臂传动系统、吊臂、电气控制装置等组成。

2、机械臂基本结构及工作原理

机架：全不锈钢制作的支撑架结构，焊接在设备底盘上，以保证机械强度及机械臂的稳定性。顶部安装有水平横移导轨。

横移传动系统：采用步进电机配合同步轮和同步带传动结构传动。PLC程序控制动作。保证横移动作的相对精度和稳定性。

提升传动机构：采用步进电机配合链轮链条传动，直线导轨制作的支撑结构，PLC程序控动作。保证升降动作的平稳可靠。

不锈钢吊臂：设有不锈钢吊臂，四挂钩定位设计。主吊臂采用螺栓固定在机械臂安装座上。全不锈钢结构设计。

电气控制装置：采用日本松下可编程序控制器控制机械臂动作。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机特点：

自主研发的超声波发生器、超声波换能器，超声强劲均匀，机械Q值高、性能稳定，使用寿命长。

PLC控制系统：进排水、清洗温度、清洗时间、烘干时间、过滤循环时间、超声波功率等所有参数在人机界面设置运行。

过滤循环系统：过滤精度1-50um可选，过滤掉清洗液中的颗粒沉淀物、悬浮物、漂浮物等，提高清洗剂利用率，节省清洗成本。

内槽材质采用304不锈钢，耐酸碱，抗腐蚀能力强。

使用优质不锈钢包裹，采用1.0mm厚电解板喷粉及亚加力板活动门和透明观察窗。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机清洗槽内投入篮、搬出篮及槽间移动篮的全部过程都由机械手自动完成。

清洗篮：骨架采用圆枝结构，四周和底板采用不锈钢孔板焊接，承重能力强。

根据工艺要求，可选配各种频率段的超声波系统。

智能型多臂式机械手，定位，运行稳定。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机整机采用PLC+触摸屏控制，可根据生产需要监控及调整工艺参数。

上下双边抛动系统，清洗面均匀，效果更佳。

气动式进出料输送系统，有效杜绝二次污染。

FFU高效过滤系统，确保工作内环境的洁净度。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机独特的溢流装置及热交换器，节能减排。

自动化程度高，适宜于连续大批量生产，清洗品质稳定。

清洗采用刷洗配合高压进行清洗，可以有效的清洗各种污渍、指纹和汗渍等杂质。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机输送采用滚轮输送，机内配有导向机构，可以有效的防止玻璃跑偏。

台湾式风刀，切水干净彻底。保证不留有水分。

水循环系统采用逐级溢流方式，可以有效节约用水。

设计符合国际、国内通行安全防护标准。设备具有完善的防护装置。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机各种防护门、窗均有连锁保护开关。运动部件和油、气、液、电线、电缆等单元进行单独防护。设备稳定运行时噪声≤85dB（按检测）。

配置的压力容器和蓄能装置均附有检定证书和技术说明。

均设有急停开关，安装在便于紧急操作的位置，颜色为红色。

配备安全操作指导书，危险部位均进行文字和危险图形标识。

全自动蓝宝石衬底片超声波清洗机运输与安装：

搬运方法：搬运时应平起平落，垂直方向倾斜度不得超过30°，不能碰撞机器。

安装位置：机器应安装在通风干燥的地方，其环境温度、湿度不应过高，机体应平稳位置，距离墙应有适当距离（建议大于1m），以便机器的通风散热及维护方便。