半导体晶圆腐蚀清洗系统

2021-11-15 13:45 175.167.146.125 2次
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沈阳北博电子科技有限公司商铺
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沈阳北博电子科技有限公司
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产品详细介绍

半导体晶圆腐蚀清洗系统采用半导体工艺要求的材料和工艺流程,可设计腐蚀槽清洗槽等工艺组合通讨PLC加触摸屏组合设计控制,可对硅晶圆实现需要的硅腐蚀HF处理冲水超声吹干等工艺过程。

1、产品概述



2、性能参数

装片能力: 5时,6时,8时,150-300微米

清洗能力: 2cassette/Batch,25Pcs/cassette

主要材质: 聚丙烯磁白PP:阻燃聚氩乙烯PVC: SUS304不锈钢,透明抗静電PVC5T

防漏盘: 聚丙烯磁白 PP 板材

排风通道: 内设有风量导流板:控制方式:PLC+触摸屏控制

工艺温度: 30~80℃(可调)

温控精度: +0.5℃

工艺槽数: 2-5个可选

工艺配方: 预先设置自动执行

废液回收: 机台后方专用管道

设备维护: 状态监测手动点检

工作环境: 千级净化车间

3、相关服务

支持客户定制服务提供顾客标准化工艺


所属分类:中国机械设备网 / 其他电子产品制造设备
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