玻璃是脆性材料的一种,脆性材料是在外力作用下(如拉伸、冲击等)仅产生很小的变形即破坏断裂的材料。在精密仪、电子产品及日常生活中,脆性材料如玻璃、陶瓷、硅片、蓝宝石等有着非常广泛的应用。采用激光切割玻璃有三种方法,分别是:熔断法切割、隐形切割(简称隐切)、激光成丝法。 熔斷法切割,是利用高能激光束沿着被切割玻璃的表面进行定向扫描,在切割路径上产生局部高温,当该温度达到或超过玻璃的软化点温度,则会在玻璃的表面产生融化的沟槽,当沟槽的深度较大时,对玻璃施加一定方向的外力便可以使其分离。而利用该方法分割玻璃也存在一定的缺陷,由于局部的温度梯度较高,会产生较高的热应力以及残余应力,在切割边缘会产生大量的无规则微裂纹,且在其断裂面上残留有一定的熔融残渣,仍然需要对切割边缘进行打磨、清洗等后续加工工序。其残余应力也使得二次加工良品率降低。