各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，实验室气体管道安装厂家，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，实验室气体管道安装价格，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。
实验室气体工程安装注意事项
（1）管径为1/8的管路很细且特软，安装后不直，很不美观，建议管径为1/8的全部换成1/4，在二级减压器末端加一变径就可以了。
（2） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，甲i烷，氧气的已经减压器压力表量程为0—25Mpa，二级减压器为0—1.6Mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4Mpa，二级减压器为0—0.25 Mpa。
（3）氮气，Ar，压缩空气，氦气，氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种，一是正转钢瓶接头，另一是反转。大气瓶用的是反转，小气瓶用的是正转。
（4）气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。
（5） 气体管路应沿墙明设，以便安装维护。
气路系统结构及工作原理
气压系统由空压机、干燥器、滤清器、自动排水器、防冻器及各类控制阀件组成，压缩空气经多级净化处理后，供底盘行驶及车上作业使用。
一. 结构特点 气压系统主要由以下组成： ? 压缩空气气源 ? 动力系统控制气路 ? 底盘气路 ? 绞车气路 ? 司钻控制 压缩空气气源整车共用，底盘气路和绞车气路均为相对独立管路，并相互锁定；分动箱的动力操作手柄在切换发动机动力时，同时切换压缩空气气源，钻机车在行驶状态接通底盘气路，钻修作业接通绞车气路。当二者其一管路接通压缩空气气源时，另外一路则被切断压缩空气气源，确保设备操作安全，实验室气体管道安装，减少气路管线泄漏
二. 压缩空气气源 1. 空气压缩机，往复活塞结构，4缸V形排列；2台，分别安装在2台发动机右侧前部，由曲轴端皮带轮驱动；强制水冷，润滑，实验室气体管道安装哪家好，冷却管线与发动机冷却水道相连，润滑管线与发动机润滑系统相连。 2. 调压阀，安装在空气压缩机缸体侧部，调定控制气压系统空气压力，调定值0.8 ±0.05MPa，当系统气体压力升高，达到调定值时，调压阀动作发出气动信号，分两路，一路信号接通两台空气压缩机卸荷阀，顶开各气缸进气阀门，空压机置空负荷运转状态，停止向气压系统供气；另一路信号接通两台干燥器排泄口，干燥器储气室内的干燥空气迅速反向流动流，吸附干燥剂层的水份，迅速排出干燥器体外，使其干燥剂再生。系统压力低于调定值，调压阀气信号消失，空压机卸荷阀复位，空压机重新进入正常工作状态，继续向系统供应压缩空气，同时，干燥器排泄口关闭，干燥器重新开始工作，吸附干燥系统压缩空气。
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