钝化原理其钝化的机理可用薄膜理论来解释，即认为钝化是由于金属与氧化性物质作用，钝化剂，作用时在金属表面生成一种非常薄的、致密的、覆盖性能良好的、牢固地吸附在金属表面上的钝化膜。这层膜成独立相存在，金属钝化，通常是氧化金属的化合物。它起着把金属与腐蚀介质完全隔开的作用，防止金属与腐蚀介质接触，从而使金属基本停止溶解形成钝态达到防腐蚀的作用。
在氧化层中大部分的电荷效应是直接或间接地同热氧化的工艺过程有关的。在800—1250~C的温度范围内，表面钝化，用干氧、湿氧或水汽进行的热氧化过程有三个持续的阶段，是环境气氛中的氧进入到已生成的氧化层中，氧通过二氧化硅向内部扩散，钝化，当它到达Si02-Si界面时就同硅发生反应，形成新的二氧化硅。这样不断发生着氧的进入—扩散—反应过程，使靠近界面的硅不断转化为二氧化硅，氧化层就以一定的速率向硅片内部生长。
钝化与防锈油Zui主要的区别是生成产物不一样；防锈油是利用油膜封闭金属表面的气孔达到隔离与氧气接触而有效防止生锈的作用，实际上没有发生什么反应。油膜比较容易随着生产的进行而被清除、破坏的失效；而钝化是利用钝化液中的氧化性物质与金属产生氧化还原反应，促使在金属表面生成一层金属的氧化物、达到有效保护金属的目的。这一过程属于化学反应。产生的钝化膜致密、完整不易被破坏。
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