氦质谱检漏仪故障与处理
内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
氦质谱检漏仪热管检漏
热管
热管 (Heat Pipe)是利用热传导原理与致冷介质的快速热传递性质，透过热管将发热物体的热量迅速传递到热源外，其导热能力超过任何已知金属的导热能力。热管技术目前广泛应用于计算机、各类电器等设备散热，常见的形状有圆管状，板块状(VC 单体) 等。
热管需要检漏原因：
热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，首先会影响热管的导热性能；其次由于热管都是安装在设备内部，如果发生泄漏，山东真空氦质谱检漏仪，里面封装的液体就会流出，真空氦质谱检漏仪维修，严重污染和影响设备的正常运转，所以热管生产企业，都会采用氦质谱检漏仪对热管进行检漏。
热管检漏客户案例：某电子股份公司，是世界 IT 产业 500强之一，分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地，全球员工近90000人。该企业是全球较大的电源供应器制造商，真空氦质谱检漏仪多少钱，市场占有率达 25% 以上。
热管检漏方法：
该企业热管出厂前标准漏率合格线是 E-8mbarl/s，使用氦质谱检漏仪检漏时，设定 E-8为报警值，当漏率低于该值时产品是合格的，当漏率高于此值，检漏仪发出声光警报，说明产品有漏。
热管采用检漏仪的真空检漏模式，因为产品没有抽真空的标准接口，上海伯东根据客户实际情况定制真空夹具，一头连接检漏仪，一头连接产品，具体做法如下：
1.启动氦质谱检漏仪，装上夹具
2.将热管插入夹具，并用真空封泥封堵
3.按下检漏仪启动键，开始抽真空
4.在产品周围喷氦气，以 E-8 mbarl/s 为合格线
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氦质谱检漏仪的主要及时指标
北京科创鼎新真空技术有限公司（简称：科创真空）是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。
1. 较小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 启动时间：≤5min
4. 响应时间：≤1s
5. 检漏口的较高压力：1500Pa
6. 电源要求：220v，真空氦质谱检漏仪品牌，50Hz，单相，10A
7. 工作环境：5-35℃
8. 相对湿度：≤80%
9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）
10. 重量：64kg
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