烘烤为完成超高真空规模 (<10-8 hPa) 内的压力，有必要满意以下条件：
真空泵的极限真空度应该低于所需极限压力的10 倍。
真空室和部件所运用的材料有必要针对出气量进行优化，具有恰当的外表处理等级。
应该运用金属密封件(例如，CF法兰衔接或 ISO 法兰规范的 Helicoflex 密封件)。
清洁作业是超高真空一切必要，即：一切部件有必要在装置前完全清洁并有必要佩戴无油脂手套进行装置。
设备和高真空泵有必要进行烘烤。
在发动加热器之前，有必要避免并扫除走漏。为此，有必要运用氦气检漏仪或四极杆质谱仪。
烘烤显著添加解吸率和分散率，这会导致抽吸时刻大大缩短。作为制造工艺的Zui终一个过程，UHV 用处的腔室可在温度高达 900°C 时进行退化。后续烘烤温 可能到达300 °C。泵制造商有关高真空泵法兰高烘烤温度的阐明一般将作业中的高温度限制为 120°C。如果在真空设备中运用热源(例如，辐射加热)，则不得超越答应的辐射功率。
设备在装置结束后投入运转。在到达 10-5 hPa 的压力后，敞开加热器。在加热过程中，以 10小时的距离对真空计进行操作并脱气。如果运用具有恰当外表处理等级的不锈钢容器和金属密封件，120°C 的烘烤温度和约 48小时的加热时刻足以到达 10- 10 hPa 的压力规模。
烘烤应该继续，直至到达预期极限压力的 100 倍。封闭泵和真空室的加热器。在冷却后，很可能会完成所需的极限压力。在压力低于5 · 10-10 hPa 且内外表积较大时，将有利于运用气体结合泵(钛提高泵)，该泵以高体积流量抽出从金属中逸出的氢气。
真空系统有的
一般来说，真空系统具备下列优点：
1、低噪音、低振动、可降低整厂内噪音；
2、集中放置，节省空间，整体上方便保养或维护；
3、集中供气，水环真空系统，气量比同条件下同数量散放的真空泵气量足；
4、节能，可按需要调节真空泵自动切换开启或关闭，真空系统设计，节省电量；
5、储气罐配置，除可缓冲气量外，亦可某种程度上方便排水或轻度过滤，降低空气水份或其他与真空泵润滑油与制程气体介质直接接触机率真空系统
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：
1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围，cnc真空系统，泵的工作点
应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、选择真空机组：
(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。
(2)有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压，塘厦真空系统，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。
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