真空系统。是由真空泵、PLC程序操控系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。现在，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等职业。该真空系统出厂时现已包含了抽速操控、进气过滤、首要运转数据显现、运转维护及长途操控接口等。只需要在现场进行简略的连接电源和管道，真空系统方案，即可以组成一个完好的真空系统。该真空系统的操控系统由先进的PLC操控系统通过编程后组成，以触摸屏为人机界面，完成对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和履行、报警维护系统等的全自动化操控。
惠州市明胜机电设备有限公司制造销售各种真空泵，中央真空系统，并提各类真空泵维修保养服务（罗茨，螺杆，真空系统，旋片式，干式，水环式等真空泵维修保养）以及各类进口真空泵配件耗材。服务品牌：普旭（博世）、里其乐、莱宝、贝克、爱发科、爱德华、大晃、斗一，阿尔卡特等进口真空泵。
漏孔校准采用四极质谱比对法校准。比对法校准较小漏率真空漏孔时，为了得到与被校漏孔相同或相近的气体流量，一般采用固定流导法作为标准气体流量获得的手段，真空清扫系统，该方法具有结构简单、操作方便、测量不确定度小、校准精度高等优点。
原理为利用已知流量的标准漏孔，通过稳压室压力的调节，向双球校准室注入稳定流量的气体，并利用分子泵机组对真空校准室持续抽气，并通过微调阀调节气体的流量，使校准室压力维持在合适的校准压力范围内，为校准室建立起漏孔气体的动态平衡。首先利用四极质谱计获得标准漏孔的离子流参数，再切换到被较漏孔，获得被较漏孔状态下的四极质谱计离子流。通过公式(1)计算得出被较漏孔漏率数值。
真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统空系统内各处的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到流程工艺
一台真空泵启动后达不到设定所需真空时第二台真空泵启动至达到设定的真空值。当达到所需设定值后一台真空泵停止接着第二台真空泵停止循环工作。我司的真空系统可在无人操作情况下对系统进行自动控制，在停电时可自动封闭真空系统。同时控制箱可以保护真空泵马达过载及短路。
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