干式螺杆真空泵/无油洁净/半导体与电子/厂家直供

在当今高科技和低污染的生产环境中，干式螺杆真空泵以其独特的结构和卓越的性能，成为各行业的理想选择。作为一家专注于工业真空泵生产的厂家，我们致力于为客户提供高质量的干式螺杆真空泵，满足半导体、电子等领域的严格要求。

干式螺杆真空泵的结构原理相对简单，采用螺杆设计，利用两根螺杆的相对旋转来实现气体的吸入和压缩。在泵的工作过程中，气体在螺杆之间被逐渐压缩，Zui终通过排气口排出。这种结构确保了气体的连续流动，几乎不需要润滑油，从而避免了油气污染的问题。由于没有油的介入，干式螺杆真空泵的维护保养变得相对简单，大大降低了用户的使用成本。

干式螺杆真空泵的优点显而易见：

• 无油洁净：由于泵内部没有油的存在，避免了油气混合带来的污染，极大地满足了半导体及电子行业对洁净生产环境的严格要求。
• 高效率：干式螺杆真空泵在较宽的工作范围内都能保持良好的工作效率，使得生产过程中气体的处理更为高效。
• 低噪音：相比传统的真空泵，干式螺杆真空泵在运行过程中产生的噪音较低，能够为操作人员提供更加舒适的工作环境。
• 低维护：干式螺杆真空泵的设计使得其几乎不需要频繁的维护，减少了用户的维护成本和时间投入。
• 耐用性强：其精密的制造工艺和优良的材料选择使得干式螺杆真空泵具有较长的使用寿命，保障用户的长期投资回报。

在适用场景方面，干式螺杆真空泵尤其适用于以下领域：

• 半导体制造：在半导体生产过程中，要求极高的真空度和洁净度，干式螺杆真空泵能够有效满足这一需求，保障组件的质量。
• 电子设备生产：在电池、电路板和显示器等电子设备的制造过程中，干式螺杆真空泵提供清洁的环境，有助于提升产品性能和寿命。
• 真空包装：在食品和医药包装行业，干式螺杆真空泵能够保持包装环境的卫生，确保产品的保鲜和安全。
• 制药行业：在制药过程中的干燥、成品包装等环节，干式螺杆真空泵能够有效防止污染，提高药品的安全性。
• 实验室研究：无论是物理、生物还是化学领域，干式螺杆真空泵为实验提供必要的真空环境，促进科研工作的顺利进行。

作为厂家直供的干式螺杆真空泵，我们承诺为客户提供优质的产品和高效的服务。每一台泵都是经过严格测试和质量控制的，确保其在各类应用中的zuijia性能。我们的团队精通行业需求，能够根据客户的特定需求提供定制化解决方案。

在未来的发展中，我们将持续投入研发力量，不断提升干式螺杆真空泵的技术水平与服务能力，力求为更多的用户创造价值。选择我们的干式螺杆真空泵，意味着选择了一种高效、可靠和环保的真空解决方案。

无论您从事何种行业，只要需要高效的真空解决方案，我们的干式螺杆真空泵都将是您不懈追求的理想选择。让我们共同推进技术的进步，实现更加美好的生产未来。

如果您对干式螺杆真空泵感兴趣，欢迎了解更多信息。我们的产品将为您的业务提供全新的动力，助力您的企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。

干式螺杆泵是一种基于螺杆旋转运动实现气体或液体输送的容积式泵，其核心技术在于无油润滑的螺杆转子设计，适用于高洁净度、恶劣工况及复杂介质的应用场景。

技术原理与核心结构

1. 工作原理

吸气阶段：一对精密加工的螺旋形转子（阳转子逆时针、阴转子顺时针）在泵壳内同步高速反向旋转，形成连续的密封腔室，将气体或液体从吸入端导入。

压缩阶段：随着转子旋转，密封腔室容积逐渐缩小，介质被压缩并向排气端移动。

排气阶段：压缩后的介质通过排气口排出，完成一个工作循环。

2. 核心组件

螺杆转子：采用三维曲面数学模型设计，经五轴联动数控机床加工，精度达微米级，表面可涂覆防腐涂层（如碳化钨）以适应腐蚀性介质。

轴承与齿轮：高精度斜齿轮确保转子间间隙稳定，G1 级动平衡技术降低振动和噪音。

密封系统：迷宫式密封 + 充气密封 + 干式密封组合，完全隔断润滑油与介质接触，避免污染。

性能优势与技术参数

1. 性能特点

无油洁净：工作腔无需润滑油，可获得清洁真空环境，满足半导体、医药等对污染敏感的行业需求。

高真空度：单级泵极限真空可达 1Pa，多级泵可实现更高真空度，适用于薄膜沉积、冻干等工艺。

耐恶劣工况：可抽取含颗粒物、水蒸气、腐蚀性气体的介质，排气温度低至 60℃以下。

高效节能：相比传统真空泵节能 30% 以上，变频技术可根据负载自动调节功率。

低噪音运行：转子无摩擦设计，噪音低于 76dB (A)，适合实验室及对噪音敏感的环境。

2. 典型技术参数

型号/极限真空/抽速范围/功率/温度范围/适用介质

应用领域与行业案例

1. 主要应用场景

半导体与电子：晶圆制造、等离子体刻蚀（RIE）、化学气相沉积（CVD）等工艺中的真空抽取。

化工与制药：真空蒸馏、溶剂回收、药物干燥、消毒气体处理。

食品与包装：香料浓缩、真空包装、油脂脱臭。

新能源：太阳能电池板生产、锂电池注液。

科研与医疗：质谱分析、冷冻干燥、无菌环境维持。

2. 典型案例

半导体行业：台积电采用系列泵用于 12 英寸晶圆刻蚀，真空度稳定在 0.01mbar 以下，提升良率 15%。

化工行业：巴斯夫使用系列泵处理含氯氟烃气体，耐腐蚀涂层寿命达 5 年以上。

制药行业：辉瑞通过系列泵实现药物中间体回收，溶剂回收率提升至 98%。

市场格局与主流品牌

1. 全球市场规模

2023 年全球干式螺杆泵市场规模达 1023 亿元，预计 2029 年增至 1303 亿元，年复合增长率 4.12%。

中国市场占比约 25%，半导体、新能源领域需求增速超 10%。

选型指南与维护要点

1. 选型关键因素

介质特性：包括成分（腐蚀性、颗粒度）、温度、粘度等，例如含颗粒介质需选择大间隙转子。

工艺参数：真空度、流量、压力要求，例如半导体工艺需极限真空 < 0.01mbar。

安装条件：空间限制、环境温度、防爆要求等，例如防爆区域需选择 ATEX 认证型号。

2. 维护建议

日常维护：定期清洁进气过滤器，检查轴承温度（

技术原理与核心结构

1. 工作原理

压缩阶段：随着转子旋转，密封腔室容积逐渐缩小，介质被压缩并向排气端移动。

排气阶段：压缩后的介质通过排气口排出，完成一个工作循环。

2. 核心组件

轴承与齿轮：高精度斜齿轮确保转子间间隙稳定，G1 级动平衡技术降低振动和噪音。

密封系统：迷宫式密封 + 充气密封 + 干式密封组合，完全隔断润滑油与介质接触，避免污染。

性能优势与技术参数

1. 性能特点

无油洁净：工作腔无需润滑油，可获得清洁真空环境，满足半导体、医药等对污染敏感的行业需求。

高真空度：单级泵极限真空可达 1Pa，多级泵可实现更高真空度，适用于薄膜沉积、冻干等工艺。

耐恶劣工况：可抽取含颗粒物、水蒸气、腐蚀性气体的介质，排气温度低至 60℃以下。

高效节能：相比传统真空泵节能 30% 以上，变频技术可根据负载自动调节功率。

低噪音运行：转子无摩擦设计，噪音低于 76dB (A)，适合实验室及对噪音敏感的环境。

2. 典型技术参数

型号/极限真空/抽速范围/功率/温度范围/适用介质

应用领域与行业案例

1. 主要应用场景

半导体与电子：晶圆制造、等离子体刻蚀（RIE）、化学气相沉积（CVD）等工艺中的真空抽取。

化工与制药：真空蒸馏、溶剂回收、药物干燥、消毒气体处理。

食品与包装：香料浓缩、真空包装、油脂脱臭。

新能源：太阳能电池板生产、锂电池注液。

科研与医疗：质谱分析、冷冻干燥、无菌环境维持。

2. 典型案例

化工行业：巴斯夫使用系列泵处理含氯氟烃气体，耐腐蚀涂层寿命达 5 年以上。

制药行业：辉瑞通过系列泵实现药物中间体回收，溶剂回收率提升至 98%。

市场格局与主流品牌

1. 全球市场规模

中国市场占比约 25%，半导体、新能源领域需求增速超 10%。

选型指南与维护要点

1. 选型关键因素

介质特性：包括成分（腐蚀性、颗粒度）、温度、粘度等，例如含颗粒介质需选择大间隙转子。

工艺参数：真空度、流量、压力要求，例如半导体工艺需极限真空 < 0.01mbar。

安装条件：空间限制、环境温度、防爆要求等，例如防爆区域需选择 ATEX 认证型号。

2. 维护建议

日常维护：定期清洁进气过滤器，检查轴承温度（