干式螺杆真空泵/无油洁净/半导体与电子/可小型化

随着科技的不断进步，工业设备的要求也在不断提高。干式螺杆真空泵凭借其无油洁净、适应性强等优点，逐渐成为半导体与电子行业的青睐之选。本文将从干式螺杆真空泵的结构原理、主要优点、适用场景以及市场前景等多个方面进行详细解析，以帮助用户更全面地了解这一设备，并引导他们选择合适的产品。

干式螺杆真空泵的结构原理

干式螺杆真空泵是一种利用相互啮合的两根螺杆进行气体抽取的设备。其基本结构包括泵体、螺杆、进气口和排气口等几个部分。与传统的油泵不同，干式螺杆真空泵的运行过程中不需要使用润滑油，这也就保证了设备输出的气体源于纯净状态。

在运行时，气体通过进气口进入泵体，经过螺杆的转动被压缩，Zui终从排气口排出。在这一过程当中，螺杆之间的间隙极小，形成的密封效果使得设备可以有效避免气体回流，这正是其在高真空领域得到广泛应用的重要原因。

干式螺杆真空泵的优点

• 无油洁净：由于不使用润滑油，干式螺杆真空泵在抽取过程中不会产生油烟或污染物，极大满足了半导体、电子等行业对洁净环境的要求。
• 小型化设计：该种真空泵体积相对较小，重量轻，便于安装并可灵活布置，在空间有限的环境中更具优势。
• 节能高效：干式螺杆真空泵的能效比传统设备高，有助于降低运营成本和碳排放，切合现代企业可持续发展的理念。
• 维护简单：无油结构的设计使得干式螺杆真空泵的维护工作大大简化，减少了维护频率和成本，提升了设备的使用效率。
• 操作可靠：其结构设计上避免了许多传统泵的常见故障，比如油污、渗油等问题，确保了系统的稳定运行。

适用场景

干式螺杆真空泵凭借其优异的性能，广泛适用于多个行业，特别是在以下应用场景中表现尤为突出：

• 半导体制造：在半导体的生产工艺中，对真空的要求极其严格，干式螺杆真空泵能有效避免污染，提高产品的良品率。
• 电子元件加工：许多电子元件在制造过程中需要进行干燥、热处理等工艺，干式真空泵的洁净特性能够确保加工质量。
• 制药行业：药品的生产过程同样需要高度的卫生标准，干式螺杆真空泵在避免污染的前提下，助力制药企业实现高效生产。
• 食品包装：食品的真空包装有助于延长保鲜时间，干式螺杆真空泵因其无油特性，成为理想选择。
• 实验室和研发：在许多科研领域，对真空环境的要求使得干式螺杆真空泵成为实验设备的shouxuan。

市场前景及发展趋势

随着半导体与电子行业的快速发展，干式螺杆真空泵的市场需求正在不断增加。未来，随着新技术的不断应用，该泵型设备将呈现出更广泛的适用范围和更高的技术标准。根据市场研究，预计在未来五年，干式螺杆真空泵将以每年超过10%的速度增长。

国家对环保和节能的重视也为干式螺杆真空泵的发展提供了有利政策。设备制造商需要重视产品的技术创新，提升设备性能，满足不断变化的市场需求。

干式螺杆真空泵凭借其无油洁净、节能高效、维护简便等特点，已经成为半导体与电子行业中不可或缺的重要设备。在未来的发展中，企业需要关注市场动态，选择合适的设备以提高生产效率。我们的干式螺杆真空泵产品，具备lingxian的技术水平和丰富的应用经验，能够为您的企业提供高效、可靠的解决方案。

如果您正在寻求高质量的干式螺杆真空泵产品，欢迎与我们联系，以获取更详细的信息和定制化的服务。投资高效的真空解决方案，将为您的企业发展增添强大的动力！

干式螺杆泵是一种基于螺杆旋转运动实现气体或液体输送的容积式泵，其核心技术在于无油润滑的螺杆转子设计，适用于高洁净度、恶劣工况及复杂介质的应用场景。

技术原理与核心结构

1. 工作原理

吸气阶段：一对精密加工的螺旋形转子（阳转子逆时针、阴转子顺时针）在泵壳内同步高速反向旋转，形成连续的密封腔室，将气体或液体从吸入端导入。

压缩阶段：随着转子旋转，密封腔室容积逐渐缩小，介质被压缩并向排气端移动。

排气阶段：压缩后的介质通过排气口排出，完成一个工作循环。

2. 核心组件

螺杆转子：采用三维曲面数学模型设计，经五轴联动数控机床加工，精度达微米级，表面可涂覆防腐涂层（如碳化钨）以适应腐蚀性介质。

轴承与齿轮：高精度斜齿轮确保转子间间隙稳定，G1 级动平衡技术降低振动和噪音。

密封系统：迷宫式密封 + 充气密封 + 干式密封组合，完全隔断润滑油与介质接触，避免污染。

性能优势与技术参数

1. 性能特点

无油洁净：工作腔无需润滑油，可获得清洁真空环境，满足半导体、医药等对污染敏感的行业需求。

高真空度：单级泵极限真空可达 1Pa，多级泵可实现更高真空度，适用于薄膜沉积、冻干等工艺。

耐恶劣工况：可抽取含颗粒物、水蒸气、腐蚀性气体的介质，排气温度低至 60℃以下。

高效节能：相比传统真空泵节能 30% 以上，变频技术可根据负载自动调节功率。

低噪音运行：转子无摩擦设计，噪音低于 76dB (A)，适合实验室及对噪音敏感的环境。

2. 典型技术参数

型号/极限真空/抽速范围/功率/温度范围/适用介质

应用领域与行业案例

1. 主要应用场景

半导体与电子：晶圆制造、等离子体刻蚀（RIE）、化学气相沉积（CVD）等工艺中的真空抽取。

化工与制药：真空蒸馏、溶剂回收、药物干燥、消毒气体处理。

食品与包装：香料浓缩、真空包装、油脂脱臭。

新能源：太阳能电池板生产、锂电池注液。

科研与医疗：质谱分析、冷冻干燥、无菌环境维持。

2. 典型案例

半导体行业：台积电采用系列泵用于 12 英寸晶圆刻蚀，真空度稳定在 0.01mbar 以下，提升良率 15%。

化工行业：巴斯夫使用系列泵处理含氯氟烃气体，耐腐蚀涂层寿命达 5 年以上。

制药行业：辉瑞通过系列泵实现药物中间体回收，溶剂回收率提升至 98%。

市场格局与主流品牌

1. 全球市场规模

2023 年全球干式螺杆泵市场规模达 1023 亿元，预计 2029 年增至 1303 亿元，年复合增长率 4.12%。

中国市场占比约 25%，半导体、新能源领域需求增速超 10%。

选型指南与维护要点

1. 选型关键因素

介质特性：包括成分（腐蚀性、颗粒度）、温度、粘度等，例如含颗粒介质需选择大间隙转子。

工艺参数：真空度、流量、压力要求，例如半导体工艺需极限真空 < 0.01mbar。

安装条件：空间限制、环境温度、防爆要求等，例如防爆区域需选择 ATEX 认证型号。

2. 维护建议

日常维护：定期清洁进气过滤器，检查轴承温度（

技术原理与核心结构

1. 工作原理

压缩阶段：随着转子旋转，密封腔室容积逐渐缩小，介质被压缩并向排气端移动。

排气阶段：压缩后的介质通过排气口排出，完成一个工作循环。

2. 核心组件

轴承与齿轮：高精度斜齿轮确保转子间间隙稳定，G1 级动平衡技术降低振动和噪音。

密封系统：迷宫式密封 + 充气密封 + 干式密封组合，完全隔断润滑油与介质接触，避免污染。

性能优势与技术参数

1. 性能特点

无油洁净：工作腔无需润滑油，可获得清洁真空环境，满足半导体、医药等对污染敏感的行业需求。

高真空度：单级泵极限真空可达 1Pa，多级泵可实现更高真空度，适用于薄膜沉积、冻干等工艺。

耐恶劣工况：可抽取含颗粒物、水蒸气、腐蚀性气体的介质，排气温度低至 60℃以下。

高效节能：相比传统真空泵节能 30% 以上，变频技术可根据负载自动调节功率。

低噪音运行：转子无摩擦设计，噪音低于 76dB (A)，适合实验室及对噪音敏感的环境。

2. 典型技术参数

型号/极限真空/抽速范围/功率/温度范围/适用介质

应用领域与行业案例

1. 主要应用场景

半导体与电子：晶圆制造、等离子体刻蚀（RIE）、化学气相沉积（CVD）等工艺中的真空抽取。

化工与制药：真空蒸馏、溶剂回收、药物干燥、消毒气体处理。

食品与包装：香料浓缩、真空包装、油脂脱臭。

新能源：太阳能电池板生产、锂电池注液。

科研与医疗：质谱分析、冷冻干燥、无菌环境维持。

2. 典型案例

化工行业：巴斯夫使用系列泵处理含氯氟烃气体，耐腐蚀涂层寿命达 5 年以上。

制药行业：辉瑞通过系列泵实现药物中间体回收，溶剂回收率提升至 98%。

市场格局与主流品牌

1. 全球市场规模

中国市场占比约 25%，半导体、新能源领域需求增速超 10%。

选型指南与维护要点

1. 选型关键因素

介质特性：包括成分（腐蚀性、颗粒度）、温度、粘度等，例如含颗粒介质需选择大间隙转子。

工艺参数：真空度、流量、压力要求，例如半导体工艺需极限真空 < 0.01mbar。

安装条件：空间限制、环境温度、防爆要求等，例如防爆区域需选择 ATEX 认证型号。

2. 维护建议

日常维护：定期清洁进气过滤器，检查轴承温度（